3D白光干涉儀掃描主要基于光學干涉技術，通過測量光波在樣品表面和參考鏡表面反射后的光程差，來解析出樣品表面的三維形貌信息。可以實現對納米級尺寸的精確測量。

工業CT在多個領域具有廣泛的用途，對于復雜內部結構或不能破壞的零件，普通3D掃描和三坐標測試已經不能滿足。工業CT外形尺寸3D掃描可以獲取其三維數字模型，進行尺寸分析、截面比對以及逆向工程，對于復制、改進或重新設計部件非常有用，尤其仿制復雜機械零件等。

在制造過程中，精確的模型是確保產品質量的關鍵，3D掃描，可以快速獲取實物對象的精確尺寸和形狀信息，從而確保制造過程的準確性和一致性。